第135章 诸君，且听龙吟！(2/2)

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完成??



    由崇明科技自主研发组装；



    此刻，中央派来的观察组已就位：



    国家02专项总指挥



    科技部副部长；



    军委装备发展部代表；



    中科院院长亲自坐镇。



    所有人都屏住呼吸。



    赵崇明站在控制台前，一身深色西装，神情沉静。



    他看了眼林振邦老人颤抖的手，轻声问：“林老，可以开始了吗？”



    林振邦深深吸了一口气，眼中泛着泪光，却用力点头：“开……开机！”



    赵崇明转身，按下红色启动键。



    嗡??



    低沉而稳定的轰鸣声从光刻机内部传来，如同巨龙苏醒。



    激光源点亮，193nm深紫外光束穿过精密透镜组；



    超纯水浸没系统启动，液膜均匀覆盖硅片表面；



    纳米级工件台以0.1微米精度移动，定位误差小于3纳米。



    大屏幕上，实时监控画面跳动：



    曝光开始……



    套刻精度：2.8nm（目标≤4nm）



    线宽均匀性：±1.1nm（目标±1.5nm）



    良率预测：92.7%



    时间一分一秒过去。



    十分钟后，机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。



    检测仪扫描完成??



    图形完整，线宽38.2nm，无断线、无桥接、无畸变。



    成功了！



    “成了！！”



    吴启明突然嘶吼一声，老泪纵横，一把抱住身边的周秉义。



    整个大厅瞬间沸腾！



    科研人员相拥而泣，年轻的工程师跪在地上，双手捂脸，肩膀剧烈抽动。



    军方代表摘下眼镜，悄悄擦拭眼角。



    科技部副部长快步上前，紧紧握住赵崇明的手，声音哽咽：“小赵……你……你们给国家，争了一口气啊！”



    赵崇明客气的开口道：“领导，您说笑了，这哪里是我一个人的功劳，这是大家集体的努力，不然，是没有这么容易的！”



    而林振邦没有动。



    他颤巍巍地走到晶圆前，伸出枯瘦的手，轻轻抚摸那冰冷的硅片表面，仿佛在触碰一个民族百年的梦。



    忽然，他双膝一软，竟要跪下。



    赵崇明眼疾手快，一把扶住：“林老！您不能跪！该跪的是我们??是我们晚辈，让您等了太久！”



    林振邦抬起头，满脸泪水，嘴唇哆嗦着，终于喊出那句埋藏了一生的话：



    “艹……我林振邦活了八十六年，



    今天，



    终于看到??



    华夏自己的光刻机，



    刻出了自己的芯！”



    话音未落，老人嚎啕大哭，像一个终于等到父亲归家的孩子。



    全场肃立，无人言语。



    唯有那台光刻机，仍在低鸣，



    如龙吟，



    如钟响，



    如一个古老文明，在沉默百年后，



    第一次向世界发出自己的声音。